Hot Wire CVD를 이용한 다결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 ( λc-Si : H ) 박막 증착 ( The Hydrogenated Micro-crystalline Silicon ( λc-Si : H ) Films Deposited by Hot Wire CVD Method )

이정철 ,  송진수 ,  박이준

전자공학회논문지-SD

2000 .08

저온 다결정 실리콘 박막 및 태양전지 연구개발 동향

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

Deposition of polycrystalline Si thin film on glass substrates by using a direct negative Si ion beam source

김유성 ,  최대한 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

열선 CVD에 의해 증착된 다결정 실리콘 박막의 구조적 특성 분석

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국태양에너지학회 논문집

2001 .03

다결정 박막실리콘 태양전지의 연구개발 동향

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 4명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

1997 .11

Effect of Substrate Temperature on Polycrystalline Silicon Film Deposited on Al Layer

안경민 ,  강승모 ,  안병태

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

열선 CVD 증착 다결정 실리콘에서 전하를 띈 클러스터의 생성 및 증착

이재익 ,  김진용 ,  김도연 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2005 .11

태양전지용 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 특성분석

정연식 ,  이정철 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

다공성 금속 샤워헤드를 적용한 상압 플라즈마 화학 기상 증착법에 의한 저온 다결정 실리콘 증착 공정

박형규 ,  송창훈 ,  오훈정 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2019 .11

여러 증착법에 따른 다결정 CdS 박막의 물리적 특성

이용혁 ,  이원정 ,  권용성 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

다결정 실리콘의 화학증착에 대한 연구

소명기

산업과학연구 : 강원대학교 산업과학연구소

1982 .01

다결정실리콘 박막의 센서에의 응용

박성준 ,  박세광

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Characterization of μc-Si:H Thin-film Solar Cells by Hot-wire CVD

J. C. Lee ,  Y. S. Chung ,  S. K. Kim 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors )

남기수 ,  노태문 ,  조덕호 외 2명

전자공학회논문지-A

1991 .03

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

OFF 전류의 감소를 위한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 구조 연구

오정민 ,  민병혁 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

열선 CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 박막 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07