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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2000.7
- 수록면
- 1,763 - 1,765 (3page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (20)
2009
2003
2001
Hot Wire CVD를 이용한 다결정 Si 박막의 고속 저온 증착
이정철
,
강기환
,
김석기
외 3명
대한전기학회 학술대회 논문집
2001.07
학술대회자료
저가 고효율 태양전지용 다결정 실리콘 박막의 저온 증착
이정철
,
강기환
,
김석기
외 3명
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2001.05
학술대회자료
열선 CVD에 의해 증착된 다결정 실리콘 박막의 구조적 특성 분석
이정철
,
강기환
,
김석기
외 3명
한국태양에너지학회 논문집
2001.03
학술저널
열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착
이정철
,
강기환
,
김석기
외 3명
한국재료학회 학술발표대회
2001.01
학술대회자료
2000
Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 ( λc-Si : H ) 박막 증착 ( The Hydrogenated Micro-crystalline Silicon ( λc-Si : H ) Films Deposited by Hot Wire CVD Method )
이정철
,
송진수
,
박이준
전자공학회논문지-SD
2000.08
학술저널
Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착
이정철
,
강기환
,
김석기
외 3명
대한전기학회 학술대회 논문집
2000.07
학술대회자료
태양전지용 미세 결정 실리콘(μc - Si:H) 박막의 고속 저온 증착 및 특성분석
이정철
,
강기환
,
김석기
외 3명
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2000.06
학술대회자료
Hot Wire CVD를 이용한 다결정 실리콘 박막의 저온 증착
이정철
,
강기환
,
김석기
외 3명
한국재료학회 학술발표대회
2000.01
학술대회자료
1999
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목차
Abstract
1. 서론
2. 결과 및 고찰
3. 결론
[참고문헌]
참고문헌 (0)
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Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 ( λc-Si : H ) 박막 증착 ( The Hydrogenated Micro-crystalline Silicon ( λc-Si : H ) Films Deposited by Hot Wire CVD Method )
전자공학회논문지-SD
2000 .08
-
Hot Wire CVD를 이용한 다결정 실리콘 박막의 저온 증착
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
-
Characterization of μc-Si:H Thin-film Solar Cells by Hot-wire CVD
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
-
Hot Wire CVD를 이용한 다결정 Si 박막의 고속 저온 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
-
열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
Hot-Wire CVD 방법을 이용한 저온 에피택셜 실리콘 박막의 표면 텍스처 형성
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
-
열선 CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 박막 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
-
CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
-
CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
-
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
-
ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
-
ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성 ( The Deposition Condition and Optical Characteristics of A-Si : H Films Deposited By ECR CVD )
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
-
수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )
대한기계학회 논문집 B권
2002 .03
-
다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
-
ICP-CVD로 중착된 미세결정 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
-
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
-
화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )
전자공학회지
1988 .08
-
FA-CVD에 의한 미세결정질 실리콘 박막 제작 및 특성 ( Characterization and Fabrication of Microcrystalline Si Thin Films Prepared by FA-CVD )
전자공학회논문지
1990 .09
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