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이용수
Abstract
1. 서론
2. 해석방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2004 .12
대구경 회전 증착에 관한 CVD 반응기 내부의 열물질 해석연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2000 .06
MOCVD 반응로내 GaN 성장에 미치는 입구형상의 영향
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2003 .11
Numerical Study on Flow and Heat Transfer in a CVD Reactor with Multiple Wafers
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 열 및 물질 전달 특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .09
Ⅲ-Ⅴ족 MOCVD 공정의 열전달 및 필름 성장에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .04
NUMERICAL SIMULATION OF TRANSPORT PHENOMENA IN Cu MOCVD VERTICAL REACTOR
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
5㎿ 연구용 원자로의 1차 냉각 계통 유동 특성
한국유체기계학회 논문집
2010 .10
열경계조건이 화학증착반응기의 성장율에 미치는 영향
대한설비공학회 학술발표대회논문집
1999 .06
GaN 에피층 성장을 위한 MOCVD 반응로의 가스 유동에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis on the Gas Flows in MOCVD Reactor for the Growth of GaN Epitaxy )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .01
연구로의 원자로 수조내 유동분석을 위한 CFD 해석
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2013 .05
CVD 반응기 내에서의 유동장에 대한 샤워헤드 지름의 영향에 대한 수치적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .04
CCS MOCVD 반응기의 GaN 증착 특성 예측을 위한 3차원 유동 및 화학반응 해석
대한기계학회 논문집 B권
2019 .04
유기금속화학증착법 ( MOCVD : MetalOrganic Chemical Vapor Deposition )
대한전자공학회 단기강좌
1986 .01
Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
원자로공동에서의 열유체 거동에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
1999 .06
메쉬 삽입형 태양열 화학 반응기의 열특성 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2006 .11
Assessment of N-16 activity concentration in Bangladesh Atomic Energy Commission TRIGA Research Reactor
Nuclear Engineering and Technology
2018 .01
연속흐름 반응기에서 광촉매 반응에 의한 VOC 물질제거 특성에 대한 수치적 연구
설비공학논문집
2001 .07
수평형 MOCVD 반응기 내의 InP 필름성장 제어인자에 대한 영향 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .11
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