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PECVD 기법에 의해 제조된 nc-Si : H 박막의 나노 구조적 특성
한국결정학회지
2003 .01
Electrical properties of HfOxNy thin films deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Photoluminescence chracteristics of SiNx thin film deposited by PECVD at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Low-temperature synthesis of nc-Si/a-SiNx: H quantum dot thin films using RF/UHF high density PECVD plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Si₃N₄상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Preparation and Characterization of DLC Films on Si - wafer using Organic Compounds by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Optimization and Application of Si-DLC Coating with Low Friction and High Hardness Property by Using PECVD Method
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Prevention of P-i Interface Contamination Using In-situ Plasma Process in Single-chamber VHF-PECVD Process for a-Si:H Solar Cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Characterization of microcrystalline silicon thin films prepared by a layer - by - layer technique with a PECVD system
Journal of Korean Vacuum Science & Technology
1999 .10
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
PECVD로 증착된 a - Si : H의 고상결정화에 있어서 기판온도의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Novel synthesis of nanocrystalline thin films by design and control of deposition energy and plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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