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학술저널
저자정보
이세희 (충남대학교 신소재공학과) 윤순길 (충남대학교 신소재공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제26권 제12호
발행연도
2016.1
수록면
676 - 680 (5page)

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We have investigated the properties of thin film transistors(TFT) fabricated using zinc tin oxide(ZTO) thin films deposited via on-axis sputtering and FTS methods. ZTO thin films deposited by FTS showed lower root-mean-square(RMS) roughness and more uniformity than those deposited via on-axis sputtering. We observed enhanced electrical properties of ZTO TFT deposited via FTS. The ZTO films were deposited at room temperature via on-axis sputtering and FTS. The as-deposited ZTO films were annealed at $400^{\circ}C$. The TFT using the ZTO films deposited via FTS process exhibited a high mobility of $12.91cm^2/V.s$, a low swing of 0.80 V/decade, $V_{th}$ of 5.78 V, and a high $I_{on/off}$ ratio of $2.52{\times}10^6$.

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