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Etching Characteristics of YMnO3 Thin Films in Cl Based Industively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2003 .01
강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4 첨가효과
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2009 .01
Dry Etching Characteristics of ZnO Thin Films for the Optoelectronic Device by Using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
Etching Characteristics of Au Thin Films using Inductively Coupled Cf4/Cl2/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2003 .01
Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 특성
한국표면공학회지
2009 .08
Cl2/CF4/Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
전기전자재료학회논문지
2002 .01
The Dry Etching Properties of ZnO Thin Film in Cl2/BCl3/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2010 .01
BCl₃/Ar 플라즈마에 Cl₂ 가스 첨가에 따른 TiN 박막의 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2008 .01
Damage on the Surface of Zinc Oxide Thin Films Etched in Cl-based Gas Chemistry
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2011 .01
고밀도 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 메커니즘 연구
전자공학회논문지-SD
2001 .12
Dry Etching Characteristics of Zinc Oxide Thin Films in Cl_2-Based Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2011 .01
Cl2/BCl3/Ar 플라즈마에서 반응성 이온들에 의해 식각된 ZnO 박막 표면 연구
전기전자재료학회논문지
2010 .01
Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각
전기전자재료학회논문지
2008 .01
CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
Cl2 / Ar 가스 플라즈마에 O2 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by O2 Addition to Cl2 / Ar Gas Plasma )
전자공학회논문지-D
1999 .05
Dry Etching of BST using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2005 .01
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