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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.16 No.5
발행연도
2007.10
수록면
90 - 95 (6page)

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Single side final polishing is a very important role to stabilize a wafer finally before the device process on the wafer is executed. In this study, the machining variables, such as pressure, machining time, and the velocity of pad table were adopted. These parameters have the major influence on the characteristics of wafer polishing. We investigated the surface roughness changing these variables to find the optimal polishing condition. Pad, slurry, slurry quantity, and oscillation distance were set to the fixed variables. In order to reduce defects and find a stable machining condition, a hall sensor was used on the polishing process. AE sensor was attached to the polishing machine to verify optimal condition. Applying data analysis of the sensor signal, experiments were performed. We can get better surface roughness from loading the quasi static force and improving wafer-holding method.
#Single side polishing(단면연마) #Optimal condition(최적 조건) #Machining variables(가공 요소) #Acoustic emission sensor(음향 방출 센서) #Hall sensor(홀 센서)

목차

Abstract
1. 서론
2. 기본이론
3. 예비 실험
4. 실험 결과
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (5)

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1. [학술지(정기간행물)] - Shin, Y. J. / 2000 / Identification of the Mechanical Aspects of Material Removal Mechanisms in CMP / Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers 9 (5) : 7 ~ 12 google schola 2. [학술대회논문] - Kwon, D. H. / 2002 / A Study on the Decay of Friction Force during CMP / Journal of the Korean Society of Precision Engineering : 972 ~ 975 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - Park, K. T. / 2000 / A Study on the Fracture Behavior in Silicon Wafer Using the Ultra-Precision Micro Positioning System / Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers 9 (1) : 38 ~ 44 google schola 4. [학술대회논문] - Kim, J. D. / 2001 / Development of Acoustic Emission Sensor Using Piezoelectric Elements and Monitoring System for Polishing Process / Journal of the Korean Society of Precision Engineering : 560 ~ 565 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - Song, J. B / 2000 / A Study on the Evaluation of Machinging States in the Plunge Grinding Using the Current Signals of a Spindle Motor / Journal of the Korean Society of Precision Engineering 17 (6) : 76 ~ 82 google schola

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