PREPARATION OF SILICON OXIDE FILMS WITH HIGH WATER REPELLENCY BY RF PLASMA-ENHANCED CVD

Hinzumi ,  Atsushi ,  Sekoguchi 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Deposition of Plasma Polymerized Films on Silicon Substrates Using Plasma Assisted CVD Method For Low Dielectric Application

M. C. Kim ,  S. H. Cho ,  J. H. Boo 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

EFFECTS OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON PROPERTIES OF FLUORINE CONTAINED SILICON OXIDE FILMS PREPARED BY MICROWAVE PLASMA-ENHANCED CVD

Nobuhisa Sugimoto ,  Atsushi Hozumi ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .10

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장

具孝根 ,  朴相鉉 ,  朴在潤 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .02

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

SiHCl 와 O을 이용한 원자층 증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성

이원준 ,  이주현 ,  한창희 외 3명

한국재료학회지

2004 .01

EVALUATION OF WATER REPELLENCY FOR SILICON OXIDE FILMS PREPARED BY RF PLASMA-ENTHANCED CVD

Hi ,  oki Sekoguchi ,  Atsuhi Hozumi 외 2명

한국표면공학회지

1996 .12

Characterization of Silicon Oxynitride Film by Plasma CVD

Yung Kwon Sung

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1992 .01

Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Oxide Films Using Silicon Amide Precursors

Sung-Joo Woo ,  Han-Gyul Lee ,  Luchana L. Yusup 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

A STUDY ON FILM DEPOSITION MECHANISM OF SILICON DIOXIDE ( SiO2 ) FORMED BY PHOTO CVD

Ji Ho Ryoo ,  Yu Jin Ju ,  Jong Kwan Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

RF Plasma CVD에 의한 TMDSO/O₂의 합성과 박막의 특성에 관한 연구

김인성 ,  김귀열 ,  강동필 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie-Young Choi ,  Byung-Ki Sohn

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .08

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie Young Choi ,  Byung Ki Sohn

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .01

RF magnetron plasma CVD에 의한 DLC 박막의 합성

김성영 ,  이재성

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1994 .10

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

XPS STUDY ON SN-DOPED DLC FILMS PREPARED BY RF PLASMA-ENHANCED CVD

Y. Inoue ,  T. Komoguchi ,  H. Nakata 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10