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The Dry Etching Properties of ZnO Thin Film in Cl2/BCl3/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2010 .01
BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성
전기학회논문지
2007 .03
Damage on the Surface of Zinc Oxide Thin Films Etched in Cl-based Gas Chemistry
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2011 .01
Dry Etching Characteristics of ZnO Thin Films for the Optoelectronic Device by Using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
Dry Etching of ITO Thin Films by the Addition of Gases in Cl2/BCl3 Inductivity Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
BCl₃/Ar 플라즈마에 Cl₂ 가스 첨가에 따른 TiN 박막의 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2008 .01
Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2009 .01
ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Chemical Reaction on the Surface of as Doped ZnO Thin Films in Dry Etching Process
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2011 .01
Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using $C_2F_6$ and $BCl_3-based$ gas Plasmas
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
Dry Etching of Al2O3 Thin Films in O2/BCl3/Ar Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2010 .01
기판 온도에 따른 Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에서 ZrO₂ 박막의 건식 식각
한국표면공학회지
2009 .12
ZnO와 Al-doped ZnO 박막의 표면 형상과 전기․광학적 특성에 미치는 Wet Etching 시간의 영향
전기전자재료학회논문지
2013 .01
Etching characteristics of BST thin films using BCl₃/Cl₂/Ar plasma
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
유도결합플라즈마를 이용한 O2/BCl3/Ar가스에 따른 Indium Tin Oxide 박막의 식각 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2010 .01
Dry Etching Characteristics of Zinc Oxide Thin Films in Cl_2-Based Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2011 .01
Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 특성
한국표면공학회지
2009 .08
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